| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


ЭБС "РУКОНТ" - результаты поиска

Виды поиска

Область поиска
В текущей базе данных найдено документов :1
 В других БД по вашему запросу найдено:Электронный каталог (4)ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М") (1)ЭБС "IPRBOOKS" (3)Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) (34)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: <.>A=Коняев, $<.>
Общее количество найденных документов : 1
1.

   
    Плазменные технологии в микроэлектронике. Часть 4. Определение энергии активации процесса плазмохимического травления [Текст] . - Воронеж : Издательский дом ВГУ, 2014. - 20 с. : нет. - Б. ц.
20 с.

Кл.слова (ненормированные):
физика плазмы -- плазма -- травление -- плазмохимическое травление -- энергия активации -- микроэлектроника
Аннотация: Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета.
Полный текст/внешний ресурс   скачать: rucont.ru 


Доп. точки доступа:
Владимирова, Людмила Николаевна (Составитель)
Дикарев, Юрий Иванович (Составитель)
Коняев, Иван Васильевич (Составитель)
Найти похожие

 
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)