7951/P-ОХФ Kukli, Kaupo. Atomic Layer Deposition of Artificially Structured Dielectric Materials [Текст] : dis. for the degree of Dr of Philosophy (in Applied Physics) / Kaupo Kukli. - Tartu : Univ. Press., 1999. - 68 p., Publ. - (Dissertationes Physicae Univ. Tartuensis ; 27). - Bibliogr. - ISBN 9985-56-388-3 : Б. ц. Рез. на эстон. яз.
Рубрики: физика--физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): диэлектрические материалы -- тонкие пленки -- поверхностные свойства Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |