A982546-ОХФ, A983066-ОХФ, A983067-ОХФ Яфаров, Равиль Кяшшафович. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий [Текст] / Р. К. Яфаров. - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2009. - 216 с. - Библиогр.: с. 205-216 (218 назв.). - ISBN 978-5-9221-1150-8 (в пер.) : 180.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--электронные приборы физика--физика плазмы Кл.слова (ненормированные): плазменные устройства -- нанотехнологии -- СВЧ-плазма -- микроволновые устройства -- плазмотроны -- плазмохимическое травление -- кремниевые структуры -- плазмохимический синтез Экземпляры всего: 3 ОХФ (3) |
A982933-ОХФ, A982934-ОХФ Архангельский, Юрий Сергеевич. Измерения в СВЧ электротехнологических установках [Текст] : учеб. пособие для студентов специальности 140605 "Электротехнологические установки и системы" / Ю. С. Архангельский, С. Г. Калганова, Р. К. Яфаров ; Сарат. гос. техн. ун-т. - 2-е изд., доп. и перераб. - Саратов : Сарат. гос. техн. ун-т [изд.], 2008. - 262, [2] с. : рис. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-7433-1966-4 (в пер.) : 95.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--электронные приборы электротехника--электротехника Кл.слова (ненормированные): СВЧ-энергия -- измерения параметров -- СВЧ-устройства -- электротехнологические установки -- вакуумно-плазменная обработка -- плазменные устройства -- электронная техника -- газовые разряды -- материаловедение Аннотация: Изложены основы измерений в технологиях с применением СВЧ электротехнологических установок, обеспечивающих тепловую, нетепловую и плазменную обработку материалов. Для студентов специальности 140605 «Электротехнологические установки и системы». Может быть полезно студентам специальности 140211 «Электроснабжение», 150206 «Машины и технологии высокоэффективных процессов обработки», 210105 «Электронные приборы и устройства». Представляет интерес для научных, инженерно-технических работников и аспирантов. Держатели документа: ЗНБ СГУ Доп. точки доступа: Калганова, Светлана Геннадьевна Яфаров, Равиль Кяшшафович Экземпляры всего: 2 ОХФ (2) |