A992437-ОХФ
    Резнев, А. А.
    Тенденции развития МЭМС [Текст] / А. А. Резнев, В. Д. Вернер. - Москва : Амиант, 2010. - 272, [2] с. : ил. - Библиогр.: с. 268-269 (34 назв.). - ISBN 978-5-4231-0042-1 (в пер.) : 687.00 р.
УДК

Рубрики: электротехника--электротехника

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы (МЭМС) -- микросистемы -- микросистемная техника -- автоматизированное проектирование


Доп. точки доступа:
Вернер, В. Д.
Экземпляры всего: 1
ОХФ (1)