A950648-ОХФ Васильев, Алексей Андреевич. Физико-химические принципы конструирования газовых сенсоров на основе оксидов металлов и структур металл / твердый электролит / полупроводник [Текст] : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук : 05.27.01 : 05.27.01 / А. А. Васильев ; . - Москва : [б. и.], 2004. - 39, [1] с. - Библиогр. - ISBN [Б. и.] : Б. ц.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника химия--аналитическая химия Кл.слова (ненормированные): сенсоры -- газовые сенсоры -- микроэлектроника -- полупроводниковые структуры -- диэлектрические мембраны -- тонкие пленки -- микромашинный чип -- химические сенсоры Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |
A951121-ОХФ Любимский, Владимир Михайлович. Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоёв поликристаллического кремния [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / В. М. Любимский ; науч. консультант В. А. Гридчин ; Новосиб. гос. техн. ун-т. - Новосибирск : [б. и.], 2005. - 37, [1] с. - [Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния] . - Библиогр.: с. 31-37 (66 назв.). - ISBN [Б. и.]
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): тензопреобразователи давления -- проектирование -- кремний поликристаллический -- сенсоры давления -- тензорезисторы -- тонкие пленки Доп. точки доступа: Гридчин, Виктор Алексеевич Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |
A951123-ОХФ Крупкина, Татьяна Юрьевна. Разработка научных основ создания и совершенствования базовых элементов микроэлектроники и микросистемной техники методами приборно-технологического моделирования [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / Т. Ю. Крупкина ; науч. консультант М. А. Королев ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Москва : [б. и.], 2005. - 55, [1] с. - Библиогр.: с. 50-55 (54 назв.). - ISBN [Б. и.]
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- микросистемная техника -- приборно-технологическое моделирование Доп. точки доступа: Королев, Михаил Александрович Королёв, Михаил Александрович Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |
A951218-ОХФ Агеев, Олег Алексеевич. Физико-технологические основы формирования контактов к карбиду кремния методами импульсной термообработки [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / О. А. Агеев ; науч. консультант Д. А. Сеченов ; Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. - Таганрог : Изд-во Таганрог. гос. радиотехн. ун-та, 2005. - 40 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 35-39 (51 назв.). - ISBN [Б. и.]
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): экстремальная электроника -- импульсная термообработка -- карбид кремния -- технологические процессы (ТП) -- контактные явления Доп. точки доступа: Сеченов, Д. А. Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |