A885480-ОХФ Орлов, А. М. Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для студентов и инж.-техн. работников, специализирующихся в области микроэлектроники и физики полупроводников / А. М. Орлов, Б. М. Костишко, А. А. Скворцов. - Ульяновск : Изд. Ульян. ун-та, 2001. - 369, [7] с. : ил. - Библиогр. - ISBN 5-88866-081-7 (в пер.) : 137.60 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые приборы -- интегральные микросхемы -- литография -- тонкие пленки -- эпитаксия -- диффузия -- рост кристаллов -- контроль качества -- технология Доп. точки доступа: Костишко, Б. М. Скворцов, А. А. Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |