Учебная литература, A236647-ОХФ, A865325-ОХФ, Курносов, Анатолий Иванович. Технология производства полупроводниковых приборов [Текст] : учеб. пособие для вузов, обучающихся по специальности "Полупроводники и диэлектрики" / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - Москва : Высш. шк., 1974. - 400 с. : ил. - Библиогр. - ISBN [Б. и.] (в пер.) : 15.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые приборы -- полупроводниковые материалы -- фотолитография -- сплавление -- диффузия -- эпитаксия -- элионика -- конденсация в вакууме -- поверхность п-п переходов -- интегральные схемы Доп. точки доступа: Юдин, В. В. Экземпляры всего: 2 ОХФ (2), ОУОЕН |
A879618-ОХФ, A879619-ОХФ Знакосинтезирующая электроника: Фотолитография [Текст] : учеб. пособие для студентов хим. и приборостроит. специальностей вузов / В. П. Севостьянов В. П., Б. К. Решетников, И. Г. Мраморнов И. Г., М. Л. Каширский М. Л. - Саратов : Издательство Саратовского университета, 1993. - 137, [3] с. - ISBN 5-292-01688-8 : 15.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): знакосинтезирующая электроника -- фотолитография -- фоторезисторы -- индикаторы -- жидкокристаллические индикаторы Доп. точки доступа: Севостьянов, В. П. Решетников, Борис Константинович Мраморнов, И. Г. Каширский, М. Л. Экземпляры всего: 2 ОХФ (2) |
Учебная литература, A996093-ОХФ, A996094-ОХФ, Кирееев, Валерий Юрьевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование [Текст] : учебно-справочное руководство / В. Ю. Кирееев. - Долгопрудный : Издательский дом "Интеллект", 2016. - 319, [1] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 314-319 (111 назв.). - ISBN 978-5-91559-215-4 (в пер.) : 1331.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- нанотехнологии -- нанолитография -- интегральные микросхемы -- фотолитография -- наноимпринтная литография -- электронная литография Экземпляры всего: 5 ОХФ (2), ОУОЕН (3) |