A964918-ОХФ Астахова, Нелли Андреевна. Ионно-плазменные процессы в технологии интегральных микросхем [Текст] : лаб. практикум по курсу "Технология интегральных полупроводниковых схем" / Н. А. Астахова ; под ред. М. Г. Путри ; М-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Москва : МИЭТ [изд.], 2002. - 47, [1] с. - Библиогр. в конце разд. - ISBN [Б. и.] : 25.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): интегральные микросхемы -- травление ионно-плазменное -- плазмохимическое травление -- реактивное ионное травление Доп. точки доступа: Путри, М. Г. Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |
A982546-ОХФ, A983066-ОХФ, A983067-ОХФ Яфаров, Равиль Кяшшафович. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий [Текст] / Р. К. Яфаров. - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2009. - 216 с. - Библиогр.: с. 205-216 (218 назв.). - ISBN 978-5-9221-1150-8 (в пер.) : 180.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--электронные приборы физика--физика плазмы Кл.слова (ненормированные): плазменные устройства -- нанотехнологии -- СВЧ-плазма -- микроволновые устройства -- плазмотроны -- плазмохимическое травление -- кремниевые структуры -- плазмохимический синтез Экземпляры всего: 3 ОХФ (3) |