A917729-ОХФ-СБО, A918073-ОХФ Справочник Шпрингера по нанотехнологиям [Текст] : в 3 т. / Федер. гос. учреждение Науч.-произв. комплекс "Технологический центр" Моск. гос. ин-та электронной техники ; под ред. Б. Бхушана ; пер. с англ. под общ. ред. А. Н. Саурова. - 2-е изд. - Москва : Техносфера, 2010. - (Мир материалов и технологий ; 6 ; 29). - ISBN 978-5-94836-261-8. Т. 1. - Москва : Техносфера, 2010. - 862 с. : ил. - ). - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-94836-262-5 (т. I) : 1022.00 р., 1689.60 р.
Рубрики: техника--материаловедение радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): нанотехнологии -- наноструктуры -- углеродные нанотрубы -- нанопроволоки -- наностержни -- нанообработка -- наноимпринтная литография -- материаловедение -- микроэлектромеханические системы (МЭМС) -- наноэлектромеханические системы (НЭМС) -- терапевтические наноустройства -- биосенсорные технологии -- нанокапли -- микрофлюидные устройства Доп. точки доступа: Бхушан, Б. \\ред.\\ Сауров, А. Н. \\ред. пер.\\ Экземпляры всего: 2 ОХФ-СБО (1), ОХФ (1) |
Учебная литература, A996093-ОХФ, A996094-ОХФ, Кирееев, Валерий Юрьевич. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование [Текст] : учебно-справочное руководство / В. Ю. Кирееев. - Долгопрудный : Издательский дом "Интеллект", 2016. - 319, [1] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 314-319 (111 назв.). - ISBN 978-5-91559-215-4 (в пер.) : 1331.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- нанотехнологии -- нанолитография -- интегральные микросхемы -- фотолитография -- наноимпринтная литография -- электронная литография Экземпляры всего: 5 ОХФ (2), ОУОЕН (3) |