A477472-ОХФ Кузнецова, Мария Александровна. Физико-технологические основы формирования карбидокремниевых наноразмерных острий для автоэмиссионной электроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / М. А. Кузнецова ; науч. рук. В. В. Лучинин ; С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : [б. и.], 2011. - 17, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17 (7 назв.). - ISBN [Б. и.] Для служебного пользования
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): автоэмиссионная электроника -- автоэлектронная эмиссия -- карбидокремниевые наноразмерные острия -- многоострийные структуры -- ионно-лучевое травление -- ионноплазменное травление -- технологические процессы (ТП) Доп. точки доступа: Лучинин, В. В. Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |