A972838-ОХФ Светухин, В. В. Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии [Текст] : учеб.-метод. комплекс / В. В. Светухин, Д. Я. Вострецов ; Федер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования Ульян. гос. ун-т. - Ульяновск : Ульян. гос. ун-т [изд.], 2006. - 107, [1] с. : рис., табл. - Библиогр. в конце разд. - ISBN [Б. и.] : 30.00 р. Подготовлено в рамках проекта: "Формирование образовательной программы качественной многоуровневой подготовки и переподготовки специалистов в сфере коммерциализации наукоёмких технологий для высокотехнологичных кластеров отечественной экономики на основе единого процесса генерации, распространения и применения новых знаний" Федер. целевой программы развития образования на 2006-2010 гг.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые материалы -- кластеризация -- преципитация -- математическое моделирование -- кремний -- дистанционное обучение -- кремниевые технологии Доп. точки доступа: Вострецов, Д. Я. Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |