Учебная литература, A999767-ОХФ, A999768-ОХФ, A999769-ОХФ,
   Терин, Денис Владимирович

    Нано- и микросистемы с обратимо перестраиваемыми размещением и свойствами элементов [Текст] : учебное пособие для студентов и магистрантов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Биотехнические системы и технологии", "Инноватика" / Д. В. Терин, С. Б. Вениг, Е. М. Ревзина ; Сарат. нац. исслед. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского. - Саратов : Издательство Саратовского университета, 2018 - . - ISBN 978-5-292-04565-6.
   Ч. 1. - Саратов : Издательство Саратовского университета, 2018. - 77, [3] с. : ил., табл. - ). - Библиогр.: с. 75-78 (70 назв.). - ISBN 978-5-292-04469-7 (ч. 1) : 205.59 р., 205.47 р.
УДК

Рубрики: электротехника--электротехника

   техника--материаловедение


Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы (МЭМС) -- микросистемы -- микросистемная техника -- межмолекулярные взаимодействия -- бесконтактное трение -- наноструктуры -- наносистемы -- наноэлектромеханические системы (НЭМС)


Доп. точки доступа:
Вениг, Сергей Борисович
Ревзина, Елена Мстиславовна
Экземпляры всего: 38
ОХФ (3), ОУОЕН (35)