Учебная литература, A985410-ОХФ, A985411-ОХФ, A985412-ОХФ-ЧЗ-4 Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : в 2 т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - Москва : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0. - ISBN 978-5-9963-0341-0(ошибочный ). Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - Москва : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010. - 392 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 386-389 (80 назв.). - ISBN 978-5-9963-0335-9 (Т. 1) (в пер.) : 226.30 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- интегральные схемы -- технологические процессы (ТП) -- физико-химические процессы -- межфазные явления Доп. точки доступа: Райнова, Юлия Петровна Коркишко, Ю. Н. \\ред.\\ Экземпляры всего: 15 ОУОЕН (12), ОХФ (2), ОХФ-ЧЗ-4 (1) |