Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Электронный каталог - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

В текущей базе данных найдено документов :1

В других БД по вашему запросу найдено:

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.382.049.77(076.5)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 361314
621.382-181(076.5)/А 910
Автор(ы) : Астахова, Нелли Андреевна
Заглавие : Ионно-плазменные процессы в технологии интегральных микросхем : лаб. практикум по курсу "Технология интегральных полупроводниковых схем"
Выходные данные : Москва: МИЭТ, 2002
Колич.характеристики :47, [1] с
Коллективы : М-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Примечания : Библиогр. в конце разд.
ISBN, Цена [Б. и.]: 25.00 р.
УДК : 621.382.049.77(076.5)
Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы--травление ионно-плазменное--плазмохимическое травление--реактивное ионное травление
Экземпляры :ОХФ(1)
Свободны : ОХФ(1)
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)