Нефедов, Денис Владимирович.     Влияние температуры на формирование кремниевых нанокристаллитов на некристаллических подложках в плазме СВЧ газового разряда низкого давления [Текст] / Д. В. Нефедов, Р. К. Яфаров // Письма в журнал технической физики. - 2008. - Т. 34, вып. 2. - С. 62-68 . - ISSN 0320-0116 Рубрики: физика Кл.слова (ненормированные): нано-2009 ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Электротехнологические свойства аморфного гидрогенезированного карбида кремния, полученного в высокоионизованной плазме СВЧ газового разряда низкого давления [Текст] / Д. В. Нефедов [и др.] // Актуальные проблемы электронного приборостроения - 2008 : сборник трудов конференции, 24-25 сентября 2008 г. - Саратов : СГТУ, 2008. - С. 118-124 . - ISBN 978-5-7433-1970-1 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Нефедов, Денис Владимирович Реснянский, И. В. Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Нефедов, Денис Владимирович.     Эффективность сверхвысокочастотной плазменной обработки в убывающем магнитном поле [Текст] / Д. В. Нефедов, Р. К. Яфаров // Радиотехника и электроника. - 2009. - Т. 54, № 2. - С. 236-242 . - ISSN 0033-8494 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Нефедов, Денис Владимирович.     Создание тонкопленочных структур на основе нанокластеров кремния в матрице аморфного карбида кремния и исследование их электрофизических свойств [Текст] / Д. В. Нефедов, Р. К. Яфаров // Нелинейный мир. - 2009. - Т. 7, № 3. - С. 221-222 . - ISSN 2070-0970 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Анизотропный рост алмазографитового композитного материала в сверхвысокочастотной плазме низкого давления [Текст] / С. Ю. Суздальцев [и др.] // Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология. - 2013. - Т. 56, вып. 7. - С. 60-63. - Библиогр.: с. 63 (10 назв.). - Имеется электрон. версия журнала в целом. - URL: http://ctj.isuct.ru/files/2013/7-2013.pdf (дата обращения: 01.03.2017) . - ISSN 0579-2991 Рубрики: химия Кл.слова (ненормированные): алмазографитовые композиты -- энергия активации -- перколяция -- алмазографитовые композитные материалы -- селективное осаждение ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Суздальцев, Сергей Юрьевич Маркин, Алексей Викторович (инженер) Нефедов, Денис Владимирович Филимонов, Юрий Александрович (д-р физ.-мат. наук)

Влияние высокотемпературного отжига на пленки аморфного гидрогенизированного кремния, полученные в СВЧ плазме [Текст] / А. В. Маркин [и др.] // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2012. - № 2 (66), вып. 2. - С. 103-109. - Библиогр.: с. 107-109 (23 назв.) . - ISSN 1999-8341 Рубрики: физика Кл.слова (ненормированные): нанокристаллы кремния -- комбинационное рассеяние света ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Маркин, Алексей Викторович (мл. науч. сотрудник) Нефедов, Денис Владимирович Сердобинцев, Алексей Александрович (канд. физ.-мат. наук, доцент) Суздальцев, Сергей Юрьевич

Формирование кремний-углеродных доменов на кристаллах кремния (100) [Текст] / В. Я. Шаныгин [и др.] // Нелинейный мир. - 2016. - Т. 14, № 1. - С. 74-76. - Да . - ISSN 2070-0970 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Суздальцев, Сергей Юрьевич Нефедов, Денис Владимирович

Влияние концентрации эмиссионных центров в виде окон через пленку из нестехиометрической окиси кремния на автоэмиссию кремния, имплантированного ионами углерода [Текст] / Р. К. Яфаров [и др.] // АПЭП-2016 : материалы международной научно-технической конференции "Актуальные проблемы электронного приборостроения". - Саратов : Саратовский государственный технический университет, 2016. - С. 159-161 . - ISBN 978-1-5090-1712-6 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Структурирование поверхности монокристаллического кремния после вакуумно-плазменного травления через островковую углеродную маску [Текст] / Р. К. Яфаров [и др.] // АПЭП-2016. - Саратов : Саратовский государственный технический университет, 2016. - С. 469-472 . - ISBN 978-1-5090-1712-6 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Исследование влияния технологических параметров на радиус закругления кремниевых микровыступов [Текст] / Р. К. Яфаров [и др.] // Актуальные проблемы физической и функциональной электроники : материалы 19-й Всероссийской молодежной научной школы-семинара. - Ульяновск : УлГТУ, 2016. - С. 177-178 . - ISBN 978-5-9795-1584-7 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Влияние потенциала смещения при СВЧ-обработке в плазме различных газов на морфологические и автоэмиссионные свойства пластин SI (100) P-типа [Текст] / В. Я. Шаныгин [и др.] // Нелинейный мир. - 2017. - Т. 15, № 2. - С. 32-33 . - ISSN 2070-0970 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич

Создание планарно-торцевых автоэмиссионных структур на кремнии и исследование их характеристик [Текст] / Д. В. Нефедов [и др.] // Нелинейный мир. - 2017. - Т. 15, № 2. - С. 12-13 . - ISSN 2070-0970 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант).     Поверхностное структурирование кристаллов кремния как метод улучшения их автоэмиссионных свойств [Текст] / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров, Д. В. Нефедов // Нелинейный мир. - 2018. - Т. 16, № 2. - С. 13-14 . - ISSN 2070-0970 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович

Нефедов, Денис Владимирович.     Исследование автоэмиссионных характеристик планарно-торцевых структур с управляющим электродом [Текст] / Д. В. Нефедов, В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Нелинейный мир. - 2018. - Т. 16, № 2. - С. 11-12 . - ISSN 2070-0970 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я. Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)