Нефедов, Денис Владимирович. Влияние температуры на формирование кремниевых нанокристаллитов на некристаллических подложках в плазме СВЧ газового разряда низкого давления [Текст] / Д. В. Нефедов, Р. К. Яфаров> // Письма в журнал технической физики. - 2008. - Т. 34, вып. 2. - С. 62-68 . - ISSN 0320-0116 Рубрики: физика Кл.слова (ненормированные): нано-2009 ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) |
Кожевников, А. В. СВЧ плазмохимическое травление пластин кремния различных кристаллографических ориентаций [Текст] / А. В. Кожевников, В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров> // Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЭП-2008 : сборник трудов Международной научно-технической конференции, 24-25 сентября 2008 г. - Саратов : СГТУ, 2008. - С. 83-89 . - ISBN 978-5-7433-1970-1 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) |
Электротехнологические свойства аморфного гидрогенезированного карбида кремния, полученного в высокоионизованной плазме СВЧ газового разряда низкого давления [Текст] / Д. В. Нефедов [и др.]> // Актуальные проблемы электронного приборостроения - 2008 : сборник трудов конференции, 24-25 сентября 2008 г. - Саратов : СГТУ, 2008. - С. 118-124 . - ISBN 978-5-7433-1970-1 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Нефедов, Денис Владимирович Реснянский, И. В. Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Усанов, Дмитрий Александрович (д-р физ.-мат. наук, профессор). Исследование поверхности материалов методом сканирующей атомно-силовой микроскопии [Текст] : учебное пособие для студентов факультета нано- и биомедицинских технологий / Д. А. Усанов, Р. К. Яфаров. - Саратов : Издательство Саратовского университета, 2008. - 23 с. Рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Усанов, Дмитрий Александрович (д-р физ.-мат. наук, профессор). Исследование поверхности материалов методом сканирующей туннельной микроскопии [Текст] : учебное пособие для студентов факультета нано- и биомедицинских технологий / Д. А. Усанов, Р. К. Яфаров. - Саратов : Издательство Саратовского университета, 2008. - 51 с. Рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) |
Шаныгин, В. Я. Получение атомарно-чистых поверхностей кремния в низкоэнергетичной СВЧ-плазме низкого давления [Текст] / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров> // Журнал технической физики. - 2009. - Т. 79, вып. 12. - С. 73-78 . - ISSN 0044-4642 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) |
Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор). Получение и исследование свойств нанокомпозитных гетероструктур на основе гидрогенизированного аморфного карбида кремния с включениями нанокристаллитов кремния [Текст] / Р. К. Яфаров> // XIII международный Симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника" : Нижний Новгород, 16-20 марта 2009 г. - [Б. м.] : [Б. и.], 2009. - С. 470-471 Рубрики: Физика |
Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор). Новые перспективы развития элементной базы силовой электроники [Текст] / Р. К. Яфаров> // Материалы научно-технической конференции: «Электроника и вакуумная техника: приборы и устройства. Технология. Материалы» : Саратов, 24-25 сент. 2009 г. - Саратов : [Б. и.], 2009. - С. 157-161 Рубрики: Электроника |
Yafarov , R. K. (д-р физ.-мат. наук, профессор). The Reception and the Scaling in Microwave Gaseous Discharge Plasma of Nanocrystalline and Composite Silicon – Carbon Nanomaterials, the Creation on their Basis of Low Dimension Systems for Field Displays, Solar Power Engineering [Текст] / R. K. Yafarov > // The 20 th ISTC-Korea workshop : Сеул, 15 сент. 2009. - Сеул : Б. и., 2009. - С. 67-73 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ |
Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор). Получение и исследование ультрадисперсных алмазов и композитных алмазографитовых наноматериалов в неравновесной плазме СВЧ газового разряда низкого давления [Текст] / Р. К. Яфаров> // Углерод: фундаментальные проблемы науки, материаловедение, технология : [материалы] шестой Международной конференции, Троицк, 28-30 окт. 2009 г. - Троицк : [Б. и.], 2009. - С. 115-118 Рубрики: Материаловедение |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор). Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий [Текст] / Р. К. Яфаров. - Москва : Физматлит, 2009. - 216 с. - ISBN 978-5-9221-1150-8 Рубрики: Физика |
Нефедов, Денис Владимирович. Эффективность сверхвысокочастотной плазменной обработки в убывающем магнитном поле [Текст] / Д. В. Нефедов, Р. К. Яфаров> // Радиотехника и электроника. - 2009. - Т. 54, № 2. - С. 236-242 . - ISSN 0033-8494 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) |
Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант). Влияние энергии ионов на скорость и качество СВЧ плазмохимического травления пластин кремния [Текст] / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров> // Нелинейный мир. - 2009. - Т. 7, № 3. - С. 218-220 . - ISSN 2070-0970 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) |
Нефедов, Денис Владимирович. Создание тонкопленочных структур на основе нанокластеров кремния в матрице аморфного карбида кремния и исследование их электрофизических свойств [Текст] / Д. В. Нефедов, Р. К. Яфаров> // Нелинейный мир. - 2009. - Т. 7, № 3. - С. 221-222 . - ISSN 2070-0970 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Усанов, Дмитрий Александрович (д-р физ.-мат. наук, профессор). Получение и исследование самоорганизующихся наноструктур на основе кремния и углерода [Текст] : учеб.-метод. пособие для студентов фак. нано- и биомед. технологий / Д. А. Усанов, Р. К. Яфаров. - Саратов : Изд-во Саратовского университета, 2011. - 126 с. - ISBN 978-5-292-04034-7 Рубрики: Физика--Биотехнология ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Усанов, Дмитрий Александрович (д-р физ.-мат. наук, профессор). Методы получения и исследования самоорганизующихся наноструктур на основе кремния и углерода [Текст] : учеб.-метод. пособие для студ. фак. нано- и биомедицинских технологий / Д. А. Усанов, Р. К. Яфаров. - Саратов : Изд-во Саратовского университета, 2011. - 124 с. Рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (Д-Р ФИЗ.-МАТ. НАУК, ПРОФЕССОР) |
Электромагнитные экраны инфракрасного диапазона на основе наноразмерных слоев металла, SIO_2 и SIO [Текст] / М. В. Давидович [и др.]> // Физика волновых процессов и радиотехнические системы. - 2012. - Т. 15, № 2. - С. 19-21. - Библиогр.: с. 21 (7 назв.). - Имеется электрон. версия публикации. - URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=17954384 (дата обращения: 19.10.2018) . - ISSN 1810-3189 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Давидович, Михаил Владимирович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Доронин, Дмитрий Михайлович (аспирант) Шиловский, Павел Александрович (аспирант) |
Shanygin , V. Y. Nanomorphological characteristics of the single-crystal Si(100) surface subjected to microwave plasma processing at weak adsorption [Текст] / V. Y. Shanygin , R. K. Yafarov > // Technical Physics. - 2013. - Т. 58, № 4. - P. 557-562. - Оригинальную версию см.: Журнал технической физики. 2013. Т. 83. № 4. С. 92-98. Рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: Доп. точки доступа: Yafarov , R. K. (д-р физ.-мат. наук, профессор) Яфаров, Равиль Кяшафович |
Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор). Релаксационная самоорганизация поверхности кристаллов кремния под воздействием СВЧ плазменной микрообработки [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин> // Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47, № 4. - С. 447-459 Рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я. |
Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор). Особенности структурирования поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ плазменной обработке в различных газовых средах [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин> // Письма в журнал технической физики. - 2013. - Т. 39, вып. 9 . - С. 56-57 . - ISSN 0320-0116 Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталия Яковлевич (аспирант) |