Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Бочкарев, Алексей Олегович, Давидович, Михаил Владимирович, Яфаров, Равиль Кяшшафович Заглавие : СВЧ плазменные устройства для плазменной микрообработки пластин большого диаметра в микроэлектронике Место публикации : Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2012. - № 2 (66), вып. 2. - С. 40-49. - ISSN 1999-8341. - ISSN 1999-8341 Примечания : Библиогр.: с. 48 (10 назв.) Предметные рубрики: физика Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроволновая плазма--циклотронный резонанс--волноводно-резонаторные устройства--микрообработка--интегральные схемы ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Давидович, Михаил Владимирович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Яфаров, Равиль Кяшшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Давидович, Михаил Владимирович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Бушуев, Николай Александрович, Яфаров, Равиль Кяшшафович Заглавие : Планарная конструкция электронной пушки с сеточным управлением для формирования ленточных пучков Место публикации : Проблемы СВЧ электроники: сборник трудов II Всероссийской объединённой научной конференции, [Москва, 26-28 октября 2015 г.]/ МИЭМ НИУ ВШЭ. - Москва: НИУ ВШЭ, 2015. - Т. 2, № 1. - С. 118-121 Примечания : Библиогр.: с. 121 (4 назв.) Предметные рубрики: радиотехника. электроника ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Бушуев, Николай Александрович (канд. физ.-мат. наук, профессор) Яфаров, Равиль Кяшшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов Д. В., Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшшафович Заглавие : Создание планарно-торцевых структур и исследование их автоэмиссионных свойств Место публикации : Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика: доклады XI Всероссийской конференции молодых ученых (Саратов, 6-8 сентября 2016 г.)/ [редкол.: Е. П. Селезнев (отв. ред.) и др.]. - Саратов: Техно-Декор, 2016. - С. 155-156. - ISBN 978-5-9908612-0-6. - ISBN 978-5-9908612-0-6 Примечания : Имеется электрон. версия сборника в целомURL: http://nnnph.ru/data/documents/Sbornik-trudov-NNNF-2016_1.pdf (дата обращения: 06.04.2018) Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Нефедов, Д. В. Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич Яфаров, Равиль Кяшшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин В. Я., Яфаров, Равиль Кяшшафович, Суздальцев С. Ю., Нефедов Д. В. Заглавие : Отработка технологии плазмохимического травления углеродных пленок Место публикации : Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика: доклады XI Всероссийской конференции молодых ученых (Саратов, 6-8 сентября 2016 г.)/ [редкол.: Е. П. Селезнев (отв. ред.) и др.]. - Саратов: Техно-Декор, 2016. - С. 250-251. - ISBN 978-5-9908612-0-6. - ISBN 978-5-9908612-0-6 Примечания : Имеется электрон. версия сборника в целомURL: http://nnnph.ru/data/documents/Sbornik-trudov-NNNF-2016_1.pdf (дата обращения: 06.04.2018) Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я. Яфаров, Равиль Кяшшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Суздальцев, С. Ю. Нефедов, Д. В.