Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Влияние температуры на формирование кремниевых нанокристаллитов на некристаллических подложках в плазме СВЧ газового разряда низкого давления Место публикации : Письма в журнал технической физики. - Санкт-Петербург: ФТИ им. А. Ф. Иоффе, 2008. - Т. 34, вып. 2. - С. 62-68. - ISSN 0320-0116. - ISSN 0320-0116 Предметные рубрики: физика Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нано-2009 ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Кожевников А. В., Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : СВЧ плазмохимическое травление пластин кремния различных кристаллографических ориентаций Место публикации : Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЭП-2008: сборник трудов Международной научно-технической конференции, 24-25 сентября 2008 г. - Саратов: СГТУ, 2008. - С. 83-89. - ISBN 978-5-7433-1970-1. - ISBN 978-5-7433-1970-1 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Реснянский И. В., Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Электротехнологические свойства аморфного гидрогенезированного карбида кремния, полученного в высокоионизованной плазме СВЧ газового разряда низкого давления Место публикации : Актуальные проблемы электронного приборостроения - 2008: сборник трудов конференции, 24-25 сентября 2008 г. - Саратов: СГТУ, 2008. - С. 118-124. - ISBN 978-5-7433-1970-1. - ISBN 978-5-7433-1970-1 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Нефедов, Денис Владимирович Реснянский, И. В. Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Шифр издания : Автор(ы) : Усанов, Дмитрий Александрович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Исследование поверхности материалов методом сканирующей атомно-силовой микроскопии : учебное пособие для студентов факультета нано- и биомедицинских технологий Выходные данные : Саратов: Издательство Саратовского университета, 2008 Колич.характеристики :23 с : Предметные рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Шифр издания : Автор(ы) : Усанов, Дмитрий Александрович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Исследование поверхности материалов методом сканирующей туннельной микроскопии : учебное пособие для студентов факультета нано- и биомедицинских технологий Выходные данные : Саратов: Издательство Саратовского университета, 2008 Колич.характеристики :51 с : Предметные рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин В. Я., Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Получение атомарно-чистых поверхностей кремния в низкоэнергетичной СВЧ-плазме низкого давления Место публикации : Журнал технической физики. - Санкт-Петербург: ФТИ им. А. Ф. Иоффе, 2009. - Т. 79, вып. 12. - С. 73-78. - ISSN 0044-4642. - ISSN 0044-4642 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Заглавие : Получение и исследование свойств нанокомпозитных гетероструктур на основе гидрогенизированного аморфного карбида кремния с включениями нанокристаллитов кремния Место публикации : XIII международный Симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника": Нижний Новгород, 16-20 марта 2009 г. - [Б. м.]: [Б. и.], 2009. - С. 470-471 Предметные рубрики: Физика

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Заглавие : Новые перспективы развития элементной базы силовой электроники Место публикации : Материалы научно-технической конференции: «Электроника и вакуумная техника: приборы и устройства. Технология. Материалы»: Саратов, 24-25 сент. 2009 г. - Саратов: [Б. и.], 2009. - С. 157-161 Предметные рубрики: Электроника

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Yafarov R. K. (д-р физ.-мат. наук, профессор) Заглавие : The Reception and the Scaling in Microwave Gaseous Discharge Plasma of Nanocrystalline and Composite Silicon – Carbon Nanomaterials, the Creation on their Basis of Low Dimension Systems for Field Displays, Solar Power Engineering Место публикации : The 20 th ISTC-Korea workshop: Сеул, 15 сент. 2009. - Сеул: Б. и., 2009. - С. 67-73 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Заглавие : Получение и исследование ультрадисперсных алмазов и композитных алмазографитовых наноматериалов в неравновесной плазме СВЧ газового разряда низкого давления Место публикации : Углерод: фундаментальные проблемы науки, материаловедение, технология: [материалы] шестой Международной конференции, Троицк, 28-30 окт. 2009 г. - Троицк: [Б. и.], 2009. - С. 115-118 Предметные рубрики: Материаловедение

Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 862904 Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Заглавие : Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий Выходные данные : Москва: Физматлит, 2009 Колич.характеристики :216 с ISBN, Цена 978-5-9221-1150-8: Предметные рубрики: Физика

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Эффективность сверхвысокочастотной плазменной обработки в убывающем магнитном поле Место публикации : Радиотехника и электроника. - 2009. - Т. 54, № 2. - С. 236-242. - ISSN 0033-8494. - ISSN 0033-8494 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант), Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Влияние энергии ионов на скорость и качество СВЧ плазмохимического травления пластин кремния Место публикации : Нелинейный мир. - 2009. - Т. 7, № 3. - С. 218-220. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Создание тонкопленочных структур на основе нанокластеров кремния в матрице аморфного карбида кремния и исследование их электрофизических свойств Место публикации : Нелинейный мир. - 2009. - Т. 7, № 3. - С. 221-222. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Автор(ы) : Усанов, Дмитрий Александрович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Получение и исследование самоорганизующихся наноструктур на основе кремния и углерода : Учеб.-метод. пособие для студентов фак. нано- и биомед. технологий Выходные данные : Саратов: Изд-во Саратовского университета, 2011 Колич.характеристики :126 с ISBN, Цена 978-5-292-04034-7: Предметные рубрики: Физика-- Биотехнология ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 323359 Автор(ы) : Усанов, Дмитрий Александрович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Методы получения и исследования самоорганизующихся наноструктур на основе кремния и углерода : учеб.-метод. пособие для студ. фак. нано- и биомедицинских технологий Выходные данные : Б.м., 2011 Колич.характеристики :124 с. : Предметные рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (Д-Р ФИЗ.-МАТ. НАУК, ПРОФЕССОР)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Давидович, Михаил Владимирович, Яфаров, Равиль Кяшафович, Доронин, Дмитрий Михайлович, Шиловский, Павел Александрович Заглавие : Электромагнитные экраны инфракрасного диапазона на основе наноразмерных слоев металла, SIO_2 и SIO Место публикации : Физика волновых процессов и радиотехнические системы. - Самара: Издательство Поволжского государственного университета телекоммуникаций и информатики, 2012. - Т. 15, № 2. - С. 19-21. - ISSN 1810-3189. - ISSN 1810-3189 Примечания : Библиогр.: с. 21 (7 назв.). - Имеется электрон. версия публикацииURL: https://elibrary.ru/item.asp?id=17954384 (дата обращения: 19.10.2018) Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Давидович, Михаил Владимирович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Доронин, Дмитрий Михайлович (аспирант) Шиловский, Павел Александрович (аспирант)

Вид документа : Шифр издания : Автор(ы) : Shanygin V. Y., Yafarov R. K. Заглавие : Nanomorphological characteristics of the single-crystal Si(100) surface subjected to microwave plasma processing at weak adsorption Место публикации : Technical Physics. - 2013. - Т. 58, № 4. - P557-562 Примечания : Оригинальную версию см.: Журнал технической физики. 2013. Т. 83. № 4. С. 92-98. Предметные рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: Доп. точки доступа: Yafarov , R. K. (д-р физ.-мат. наук, профессор) Яфаров, Равиль Кяшафович

Вид документа : Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Шаныгин В. Я. Заглавие : Релаксационная самоорганизация поверхности кристаллов кремния под воздействием СВЧ плазменной микрообработки Место публикации : Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47, № 4. - С. 447-459 Предметные рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я.

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Шаныгин, Виталия Яковлевич Заглавие : Особенности структурирования поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ плазменной обработке в различных газовых средах Место публикации : Письма в журнал технической физики. - 2013. - Т. 39, вып. 9 . - С. 56-57. - ISSN 0320-0116. - ISSN 0320-0116 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталия Яковлевич (аспирант)