Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Кожевников А. В., Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : СВЧ плазмохимическое травление пластин кремния различных кристаллографических ориентаций Место публикации : Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЭП-2008: сборник трудов Международной научно-технической конференции, 24-25 сентября 2008 г. - Саратов: СГТУ, 2008. - С. 83-89. - ISBN 978-5-7433-1970-1. - ISBN 978-5-7433-1970-1 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Реснянский И. В., Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Электротехнологические свойства аморфного гидрогенезированного карбида кремния, полученного в высокоионизованной плазме СВЧ газового разряда низкого давления Место публикации : Актуальные проблемы электронного приборостроения - 2008: сборник трудов конференции, 24-25 сентября 2008 г. - Саратов: СГТУ, 2008. - С. 118-124. - ISBN 978-5-7433-1970-1. - ISBN 978-5-7433-1970-1 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Нефедов, Денис Владимирович Реснянский, И. В. Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин В. Я., Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Получение атомарно-чистых поверхностей кремния в низкоэнергетичной СВЧ-плазме низкого давления Место публикации : Журнал технической физики. - Санкт-Петербург: ФТИ им. А. Ф. Иоффе, 2009. - Т. 79, вып. 12. - С. 73-78. - ISSN 0044-4642. - ISSN 0044-4642 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант), Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Влияние энергии ионов на скорость и качество СВЧ плазмохимического травления пластин кремния Место публикации : Нелинейный мир. - 2009. - Т. 7, № 3. - С. 218-220. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Шаныгин В. Я. Заглавие : Релаксационная самоорганизация поверхности кристаллов кремния под воздействием СВЧ плазменной микрообработки Место публикации : Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47, № 4. - С. 447-459 Предметные рубрики: Физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я.

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Шаныгин, Виталия Яковлевич Заглавие : Особенности структурирования поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ плазменной обработке в различных газовых средах Место публикации : Письма в журнал технической физики. - 2013. - Т. 39, вып. 9 . - С. 56-57. - ISSN 0320-0116. - ISSN 0320-0116 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталия Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант), Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Исследование влияния СВЧ плазменной микрообработки на наноструктурирование углерода на кристаллах кремния (100) Место публикации : Нелинейный мир. - 2013. - Т. 11, № 2. - С. 124-125. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович, Суздальцев, Сергей Юрьевич, Нефедов, Денис Владимирович Заглавие : Формирование кремний-углеродных доменов на кристаллах кремния (100) Место публикации : Нелинейный мир. - 2016. - Т. 14, № 1. - С. 74-76. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Примечания : Да Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Суздальцев, Сергей Юрьевич Нефедов, Денис Владимирович

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич Заглавие : Плазмохимическая модификация автоэмиссионных свойств кристаллов кремния различных типов проводимости Место публикации : Радиотехника. - 2016. - № 10. - С. 235-239. - ISSN 0033-8486. - ISSN 0033-8486 Предметные рубрики: радиотехника.электроника ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич Заглавие : Плазмохимическая модификация потенциального барьера при автоэлектронной эмиссии из кристаллов кремния Место публикации : Электроника и микроэлектроника СВЧ: сборник статей V Всероссийской конференции. - Санкт-Петербург: Издательство СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2016. - Т. 1. - С. 60-63. - ISSN 978-5-7629-1773-5. - ISSN 978-5-7629-1773-5 Примечания : Библиогр.: с. 63 (4 назв.). - Имеется электрон. версия публикацииURL: http://mwelectronics.ru/2016/Papers/PDF_1/060-063.pdf (дата обращения: 26.10.2018) Предметные рубрики: физика Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремний--кристаллы кремния--автоэлектронная эмиссия--эмиссия ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Шаныгин, Виталий Яковлевич Заглавие : Морфологическая устойчивость атомно-чистой поверхности кристаллов кремния (100) после СВЧ плазмохимической обработки Место публикации : Физика и техника полупроводников. - 2016. - Т. 50, № 1. - С. 55-59. - ISSN 0015-3222. - ISSN 0015-3222 Примечания : Библиогр.: с. 59 (9 назв.). - Имеется электрон. версия публикацииURL: http://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/42685 (дата обращения: 06.11.2018) Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор), Шаныгин, Виталий Яковлевич Заглавие : Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении Параллельные издания: Yafarov R. K. Surface morphological instability of silicon (100) crystals under microwave ion physical etching/ R. K. Yafarov , V. Y. Shanygin . - DOI 10.1134/S1063783416020347 (Шифр 693988) Место публикации : Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, № 2. - С. 350-353. - ISSN 0367-3294. - ISSN 0367-3294 Примечания : Библиогр.: с. 10 (7 назв.). - Имеется электрон. версия публикацииURL: http://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/42722 (дата обращения: 08.11.2018) Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Yafarov R. K. (д-р физ.-мат. наук, профессор), Shanygin V. Ya. Заглавие : Morphological stability of the atomically clean surface of silicon (100) crystals after microwave plasma-chemical processing Место публикации : Semiconductors. - 2016. - Vol. 50, no. 1. - PP.54-58. - ISSN 1063-7826ISSN 1090-6479, DOI 10.1134/S106378261601022X. - ISSN 1063-7826ISSN 1090-6479, DOI 10.1134/S106378261601022X. - ISSN 1063-7826ISSN 1090-6479, DOI 10.1134/S106378261601022X Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Shanygin, V. Ya. Шаныгин, В. Я.

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин, Виталий Яковлевич, Суздальцев, Сергей Юрьевич, Яфаров, Равиль Кяшафович, Шалаев, Павел Данилович, Яфаров А. Р. Заглавие : Влияние предварительной и высокоэнергетичной ионно-лучевой обработок на автоэмиссионные свойства кристаллов кремния Место публикации : Физические и физико-химические основы ионной имплантации: тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов. - Нижний Новгород: Издательство Нижегородского университета, 2016. - С. 25-26 Примечания : Библиогр. в конце ст. - Имеется электрон. версия сборника в целомURL: https://kpfu.ru/staff_files/F2142500230/Tezisy_dokladov_FFHOII_2016.pdf (дата обращения: 17.04.2019) Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Суздальцев, Сергей Юрьевич Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Шалаев, Павел Данилович Shalayev, P. D. Яфаров, А. Р.

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович, Нефедов, Денис Владимирович, Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич Заглавие : Влияние концентрации эмиссионных центров в виде окон через пленку из нестехиометрической окиси кремния на автоэмиссию кремния, имплантированного ионами углерода Место публикации : АПЭП-2016: материалы международной научно-технической конференции "Актуальные проблемы электронного приборостроения". - Саратов: Саратовский государственный технический университет, 2016. - С. 159-161. - ISBN 978-1-5090-1712-6. - ISBN 978-1-5090-1712-6 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович, Нефедов, Денис Владимирович, Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич Заглавие : Структурирование поверхности монокристаллического кремния после вакуумно-плазменного травления через островковую углеродную маску Место публикации : АПЭП-2016. - Саратов: Саратовский государственный технический университет, 2016. - С. 469-472. - ISBN 978-1-5090-1712-6. - ISBN 978-1-5090-1712-6 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович, Нефедов, Денис Владимирович, Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич Заглавие : Исследование влияния технологических параметров на радиус закругления кремниевых микровыступов Место публикации : Актуальные проблемы физической и функциональной электроники: материалы 19-й Всероссийской молодежной научной школы-семинара. - Ульяновск: УлГТУ, 2016. - С. 177-178. - ISBN 978-5-9795-1584-7. - ISBN 978-5-9795-1584-7 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов Д. В., Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшшафович Заглавие : Создание планарно-торцевых структур и исследование их автоэмиссионных свойств Место публикации : Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика: доклады XI Всероссийской конференции молодых ученых (Саратов, 6-8 сентября 2016 г.)/ [редкол.: Е. П. Селезнев (отв. ред.) и др.]. - Саратов: Техно-Декор, 2016. - С. 155-156. - ISBN 978-5-9908612-0-6. - ISBN 978-5-9908612-0-6 Примечания : Имеется электрон. версия сборника в целомURL: http://nnnph.ru/data/documents/Sbornik-trudov-NNNF-2016_1.pdf (дата обращения: 06.04.2018) Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Нефедов, Д. В. Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич Яфаров, Равиль Кяшшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин В. Я., Яфаров, Равиль Кяшшафович, Суздальцев С. Ю., Нефедов Д. В. Заглавие : Отработка технологии плазмохимического травления углеродных пленок Место публикации : Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика: доклады XI Всероссийской конференции молодых ученых (Саратов, 6-8 сентября 2016 г.)/ [редкол.: Е. П. Селезнев (отв. ред.) и др.]. - Саратов: Техно-Декор, 2016. - С. 250-251. - ISBN 978-5-9908612-0-6. - ISBN 978-5-9908612-0-6 Примечания : Имеется электрон. версия сборника в целомURL: http://nnnph.ru/data/documents/Sbornik-trudov-NNNF-2016_1.pdf (дата обращения: 06.04.2018) Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я. Яфаров, Равиль Кяшшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Суздальцев, С. Ю. Нефедов, Д. В.

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович, Нефедов, Денис Владимирович, Суздальцев, Сергей Юрьевич Заглавие : Влияние потенциала смещения при СВЧ-обработке в плазме различных газов на морфологические и автоэмиссионные свойства пластин SI (100) P-типа Место публикации : Нелинейный мир. - 2017. - Т. 15, № 2. - С. 32-33. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич