Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Реснянский И. В., Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Электротехнологические свойства аморфного гидрогенезированного карбида кремния, полученного в высокоионизованной плазме СВЧ газового разряда низкого давления Место публикации : Актуальные проблемы электронного приборостроения - 2008: сборник трудов конференции, 24-25 сентября 2008 г. - Саратов: СГТУ, 2008. - С. 118-124. - ISBN 978-5-7433-1970-1. - ISBN 978-5-7433-1970-1 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Нефедов, Денис Владимирович Реснянский, И. В. Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)