Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Влияние температуры на формирование кремниевых нанокристаллитов на некристаллических подложках в плазме СВЧ газового разряда низкого давления Место публикации : Письма в журнал технической физики. - Санкт-Петербург: ФТИ им. А. Ф. Иоффе, 2008. - Т. 34, вып. 2. - С. 62-68. - ISSN 0320-0116. - ISSN 0320-0116 Предметные рубрики: физика Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нано-2009 ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Реснянский И. В., Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Электротехнологические свойства аморфного гидрогенезированного карбида кремния, полученного в высокоионизованной плазме СВЧ газового разряда низкого давления Место публикации : Актуальные проблемы электронного приборостроения - 2008: сборник трудов конференции, 24-25 сентября 2008 г. - Саратов: СГТУ, 2008. - С. 118-124. - ISBN 978-5-7433-1970-1. - ISBN 978-5-7433-1970-1 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Нефедов, Денис Владимирович Реснянский, И. В. Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Эффективность сверхвысокочастотной плазменной обработки в убывающем магнитном поле Место публикации : Радиотехника и электроника. - 2009. - Т. 54, № 2. - С. 236-242. - ISSN 0033-8494. - ISSN 0033-8494 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Создание тонкопленочных структур на основе нанокластеров кремния в матрице аморфного карбида кремния и исследование их электрофизических свойств Место публикации : Нелинейный мир. - 2009. - Т. 7, № 3. - С. 221-222. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Суздальцев, Сергей Юрьевич, Маркин, Алексей Викторович, Нефедов, Денис Владимирович, Филимонов, Юрий Александрович Заглавие : Анизотропный рост алмазографитового композитного материала в сверхвысокочастотной плазме низкого давления Место публикации : Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология. - 2013. - Т. 56, вып. 7. - С. 60-63. - ISSN 0579-2991. - ISSN 0579-2991 Примечания : Библиогр.: с. 63 (10 назв.). - Имеется электрон. версия журнала в целомURL: http://ctj.isuct.ru/files/2013/7-2013.pdf (дата обращения: 01.03.2017) Предметные рубрики: химия Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): алмазографитовые композиты--энергия активации--перколяция--алмазографитовые композитные материалы--селективное осаждение ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Суздальцев, Сергей Юрьевич Маркин, Алексей Викторович (инженер) Нефедов, Денис Владимирович Филимонов, Юрий Александрович (д-р физ.-мат. наук)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Маркин, Алексей Викторович, Нефедов, Денис Владимирович, Сердобинцев, Алексей Александрович, Суздальцев, Сергей Юрьевич Заглавие : Влияние высокотемпературного отжига на пленки аморфного гидрогенизированного кремния, полученные в СВЧ плазме Место публикации : Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2012. - № 2 (66), вып. 2. - С. 103-109. - ISSN 1999-8341. - ISSN 1999-8341 Примечания : Библиогр.: с. 107-109 (23 назв.) Предметные рубрики: физика Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанокристаллы кремния--комбинационное рассеяние света ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Маркин, Алексей Викторович (мл. науч. сотрудник) Нефедов, Денис Владимирович Сердобинцев, Алексей Александрович (канд. физ.-мат. наук, доцент) Суздальцев, Сергей Юрьевич

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович, Суздальцев, Сергей Юрьевич, Нефедов, Денис Владимирович Заглавие : Формирование кремний-углеродных доменов на кристаллах кремния (100) Место публикации : Нелинейный мир. - 2016. - Т. 14, № 1. - С. 74-76. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Примечания : Да Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Суздальцев, Сергей Юрьевич Нефедов, Денис Владимирович

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович, Нефедов, Денис Владимирович, Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич Заглавие : Влияние концентрации эмиссионных центров в виде окон через пленку из нестехиометрической окиси кремния на автоэмиссию кремния, имплантированного ионами углерода Место публикации : АПЭП-2016: материалы международной научно-технической конференции "Актуальные проблемы электронного приборостроения". - Саратов: Саратовский государственный технический университет, 2016. - С. 159-161. - ISBN 978-1-5090-1712-6. - ISBN 978-1-5090-1712-6 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович, Нефедов, Денис Владимирович, Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич Заглавие : Структурирование поверхности монокристаллического кремния после вакуумно-плазменного травления через островковую углеродную маску Место публикации : АПЭП-2016. - Саратов: Саратовский государственный технический университет, 2016. - С. 469-472. - ISBN 978-1-5090-1712-6. - ISBN 978-1-5090-1712-6 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из сборника (однотомник) Шифр издания : Автор(ы) : Яфаров, Равиль Кяшафович, Нефедов, Денис Владимирович, Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич Заглавие : Исследование влияния технологических параметров на радиус закругления кремниевых микровыступов Место публикации : Актуальные проблемы физической и функциональной электроники: материалы 19-й Всероссийской молодежной научной школы-семинара. - Ульяновск: УлГТУ, 2016. - С. 177-178. - ISBN 978-5-9795-1584-7. - ISBN 978-5-9795-1584-7 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович, Нефедов, Денис Владимирович, Суздальцев, Сергей Юрьевич Заглавие : Влияние потенциала смещения при СВЧ-обработке в плазме различных газов на морфологические и автоэмиссионные свойства пластин SI (100) P-типа Место публикации : Нелинейный мир. - 2017. - Т. 15, № 2. - С. 32-33. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Суздальцев, Сергей Юрьевич, Шаныгин, Виталий Яковлевич, Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Создание планарно-торцевых автоэмиссионных структур на кремнии и исследование их характеристик Место публикации : Нелинейный мир. - 2017. - Т. 15, № 2. - С. 12-13. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: ДА Доп. точки доступа: Нефедов, Денис Владимирович Суздальцев, Сергей Юрьевич Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант) Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Шаныгин, Виталий Яковлевич (аспирант), Яфаров, Равиль Кяшафович, Нефедов, Денис Владимирович Заглавие : Поверхностное структурирование кристаллов кремния как метод улучшения их автоэмиссионных свойств Место публикации : Нелинейный мир. - 2018. - Т. 16, № 2. - С. 13-14. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор) Нефедов, Денис Владимирович

Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Нефедов, Денис Владимирович, Шаныгин В. Я., Яфаров, Равиль Кяшафович Заглавие : Исследование автоэмиссионных характеристик планарно-торцевых структур с управляющим электродом Место публикации : Нелинейный мир. - 2018. - Т. 16, № 2. - С. 11-12. - ISSN 2070-0970. - ISSN 2070-0970 Предметные рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Шаныгин, В. Я. Яфаров, Равиль Кяшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)