| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Публикации учёных СГУ - результаты поиска

Виды поиска

Область поиска
В текущей базе данных найдено документов :1
 В других БД по вашему запросу найдено:Электронный каталог (31)ЭБС "ЛАНЬ" (5)Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) (207)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>KL=интегральные схемы<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.



    Бочкарев, Алексей Олегович.
    СВЧ плазменные устройства для плазменной микрообработки пластин большого диаметра в микроэлектронике [Текст] / А. О. Бочкарев, М. В. Давидович, Р. К. Яфаров // Вестник Саратовского государственного технического университета. - 2012. - № 2 (66), вып. 2. - С. 40-49. - Библиогр.: с. 48 (10 назв.) . - ISSN 1999-8341

Рубрики: физика

ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU:
ДА

Доп. точки доступа:
Давидович, Михаил Владимирович (д-р физ.-мат. наук, профессор)
Яфаров, Равиль Кяшшафович (д-р физ.-мат. наук, профессор)
Найти похожие

 
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)