Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 539.2/Ф 94
Автор(ы) : Кузнецов Ф. А., Воронков М. Г., Борисов В. О., Игуменов И. К., Каичев В. В., Кеслер В. Г., Кириенко В. В., Кичай В. Н., Косинова М. Л., Кривенцев В. В., Лебедев М. С., Лис А. В., Морозова Н. Б., Никулина Л. Д., Рахлин В. И., Румянцев Ю. М., Смирнова Т. П., Суляева В. С., Сысоев С. В., Титов А. А., Файнер Н. И., Цырендоржиева И. П., Чернявский Л. И., Яковкина Л. В.,
Заглавие : Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники / Ф. А. Кузнецов, М. Г. Воронков, В. О. Борисов и др. . -Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Выходные данные : Новосибирск: Сибирское отделение РАН, 2013
Колич.характеристики :176 с.
Примечания : Книга находится в премиум-версии ЭБС IPR BOOKS.
ISBN, Цена 978-5-7692-1272-7: Б.ц.
УДК : 539.2
ББК : 24.5
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химическое осаждение--наноэлектроника--химия твердого тела
Аннотация: В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических пленок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений, а именно, комплексных соединений металлов и кремнийорганических соединений, синтезируемых в ИНХ СО РАН и ИрИХ СО РАН. Рассматриваются результаты исследования физико-химических свойств исходных соединений. Изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании MO CVD процессов. Получены и исследованы наиболее важные для современной электроники и наноэлектроники материалы: металлические пленки (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрические пленки с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Изучены химический, фазовый состав и структура простых и сложных оксидов на основе HfO2 (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики). Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся химией твердого тела, микроэлектроникой и технологией материалов электронной техники.


Доп. точки доступа:
Кузнецов, Ф. А.
Воронков, М. Г.
Борисов, В. О.
Игуменов, И. К.
Каичев, В. В.
Кеслер, В. Г.
Кириенко, В. В.
Кичай, В. Н.
Косинова, М. Л.
Кривенцев, В. В.
Лебедев, М. С.
Лис, А. В.
Морозова, Н. Б.
Никулина, Л. Д.
Рахлин, В. И.
Румянцев, Ю. М.
Смирнова, Т. П.
Суляева, В. С.
Сысоев, С. В.
Титов, А. А.
Файнер, Н. И.
Цырендоржиева, И. П.
Чернявский, Л. И.
Яковкина, Л. В.
Смирнова, Т. П.
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 615.9/Н 52
Автор(ы) : Зайцев Д. Н., Цырендоржиева В. Б., Соколова Н. А., Муха Н. В., Радаева Е. В., Перевалова Е. Б.,
Заглавие : Неотложная токсикология : Учебно-методическое пособие/ Д. Н. Зайцев, В. Б. Цырендоржиева, Н. А. Соколова и др
Выходные данные : Чита: Читинская государственная медицинская академия, 2010
Колич.характеристики :61 с.
Примечания : Книга находится в премиум-версии ЭБС IPR BOOKS.
ISBN, Цена 2227-8397: Б.ц.
УДК : 615.9
ББК : 52.8
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): неотложная токсикология--классификация ядов--лечение отравления--экзотоксический шок--экзогенное отравление
Аннотация: Учебно-методическое пособие содержит основные понятия, применяемые в токсикологии, классификацию ядов и отравлений, принципы клинической и лабораторной диагностики, методы лечения отравлений и их осложнений, подробно представлены нозологические формы острых отравлений. Пособие предназначено для студентов, врачей-интернов и клинических ординаторов.


Доп. точки доступа:
Зайцев, Д. Н.
Цырендоржиева, В. Б.
Соколова, Н. А.
Муха, Н. В.
Радаева, Е. В.
Перевалова, Е. Б.