Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 539.2/Ф 94 Автор(ы) : Кузнецов Ф. А., Воронков М. Г., Борисов В. О., Игуменов И. К., Каичев В. В., Кеслер В. Г., Кириенко В. В., Кичай В. Н., Косинова М. Л., Кривенцев В. В., Лебедев М. С., Лис А. В., Морозова Н. Б., Никулина Л. Д., Рахлин В. И., Румянцев Ю. М., Смирнова Т. П., Суляева В. С., Сысоев С. В., Титов А. А., Файнер Н. И., Цырендоржиева И. П., Чернявский Л. И., Яковкина Л. В., Заглавие : Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники / Ф. А. Кузнецов, М. Г. Воронков, В. О. Борисов и др. . -Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники Выходные данные : Новосибирск: Сибирское отделение РАН, 2013 Колич.характеристики :176 с. Примечания : Книга находится в премиум-версии ЭБС IPR BOOKS. ISBN, Цена 978-5-7692-1272-7: Б.ц. УДК : 539.2 ББК : 24.5 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химическое осаждение--наноэлектроника--химия твердого тела Аннотация: В монографии представлены результаты развития процессов химического осаждения из газовой фазы металлических и диэлектрических пленок с использованием нетрадиционных летучих исходных соединений, а именно, комплексных соединений металлов и кремнийорганических соединений, синтезируемых в ИНХ СО РАН и ИрИХ СО РАН. Рассматриваются результаты исследования физико-химических свойств исходных соединений. Изложены принципы выбора исходных соединений, основанные на исследовании их термодинамических свойств и термодинамическом моделировании MO CVD процессов. Получены и исследованы наиболее важные для современной электроники и наноэлектроники материалы: металлические пленки (Cu, Ni, Ru, Ir), диэлектрические пленки с высоким (high-k) и низким (low-k) значением диэлектрической проницаемости. Изучены химический, фазовый состав и структура простых и сложных оксидов на основе HfO2 (high-k диэлектрики), а также карбонитридов бора, карбонитридов и оксикарбонитридов кремния (low-k диэлектрики). Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся химией твердого тела, микроэлектроникой и технологией материалов электронной техники. Доп. точки доступа: Кузнецов, Ф. А. Воронков, М. Г. Борисов, В. О. Игуменов, И. К. Каичев, В. В. Кеслер, В. Г. Кириенко, В. В. Кичай, В. Н. Косинова, М. Л. Кривенцев, В. В. Лебедев, М. С. Лис, А. В. Морозова, Н. Б. Никулина, Л. Д. Рахлин, В. И. Румянцев, Ю. М. Смирнова, Т. П. Суляева, В. С. Сысоев, С. В. Титов, А. А. Файнер, Н. И. Цырендоржиева, И. П. Чернявский, Л. И. Яковкина, Л. В. Смирнова, Т. П.

Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 624.131.1/Р 59 Автор(ы) : Mellah M., Абдушкуров Ф. Б., Адам А. М., Адильбаева Т. Е., Алтарева Л. М., Алферова Л. И., Андрушко С. В., Анисимов Р. Н., Архипов А. Л., Атаулов Р. В., Ауелхан Е. С., Ашихмин А. П., Бабкин А. С., Бадина М. В., Баев Ю. И., Байтасов Т. М., Баркова М. О., Быкова В. В., Бычков О. А., Вакс И. В., Волженина А. Ю., Вологдина И. В., Ворожейкина Е. А., Вотинов А. В., Гасанова Э. Р., Гашкова Л. П., Герасимова О. О., Горина Н. В., Горленко Н. П., Гридасов А. Г., Данилкина Ю. С., Деева Ю. А., Дзюбо В. В., Домрочева Е. В., Дребот В. В., Дружинин А. В., Дутова Е. М., Елугачёва Н. С., Ерещенко Э. Б., Ефанов И. Н., Ефименко В. Н., Ефименко С. В., Заппаров М. Р., Зиппа Е. В., Зубкова О. А., Иванова Е. В., Иванова Э. В., Казанцева О. В., Карауш С. А., Карманова А. В., Касимова Л. В., Катаев С. Г., Кашибаева А. Т., Кеслер А. Г., Ковалёв П. В., Кожназаров А. Д., Кожухарь Т. А., Королёв В. А., Космачев П. В., Краевский А. А., Крамаренко В. В., Кузеванов К. И., Кузеванов К. К., Кузнецов А. В., Кузьмина Н. А., Лазарев В. М., Лапова Т. В., Леонова А. В., Лепокурова О. Е., Литау В. В., Литвинова В. А, Лукашевич В. Н., Лукашевич О. Д., Мазуров А. К., Макаренко В. А., Малолетко А. А., Мананков А. В., Махлаёв В. К., Мезина Н. С., Мележ Т. А., Михайлова К. Ю., Морозова Л. А., Муравьева Ю. В., Мухина Е. М., Немова Т. Н., Носков М. Д., Олонова М. В., Ольховатенко В. Е., Опаренков Ю. В., Орлянкин В. Н., Осипова Е. Ю., Осипова Н. А., Павлова А. Н., Парначёв В. П., Парфенова Г. К., Патрушева Н. Е., Переверзев А. И., Покровский Д. С., Поликанова С. А., Попов В. К., Порубов И. В., Посохова Е. М., Рахманова И. А., Рихванов Л. П., Рутман М. Г., Сабитов Е. Е., Самохина Н. П., Саркисов Ю. С., Сафонова Е. В., Семеновых М. А., Семухин Б. С., Сизиков Д. А., Синюткина А. А., Скопцова О. А., Скрипникова Н. К., Сохарева С. Ю., Степанова К. Д., Строкова Л. А., Субботина Н. В., Сухоруков А. В., Таловская А. В., Теровская Т. С., Токаренко О. Г., Филимоненко Е. А., Харанжевская Ю. А., Хафизова К. И., Хохлова Т. П., Чернышова Н. А., Шварцев С. Л., Шерстобитова Л. В., Шестакова А. И., Шумкина Ю. А., Юрьев И. Ю., Ющубе С. В., Янкович К. С., Заглавие : Роговские чтения. Проблемы инженерной геологии, гидрогеологии и геоэкологии урбанизированных территорий : Материалы Всероссийской конференции с международным участием, посвященной 85-летию со дня рождения профессора Геннадия Маркеловича Рогова/ M. Mellah, Ф. Б. Абдушкуров, А. М. Адам и др Выходные данные : Томск: Томский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ, 2015 Колич.характеристики :347 с. Примечания : Книга находится в премиум-версии ЭБС IPR BOOKS. ISBN, Цена 978-5-93057-646-7: Б.ц. УДК : 624.131.1 ББК : 26.3 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): инженерная геология--гидрогеология--геоэкология--техносферная безопасность Аннотация: В сборнике рассмотрены проблемы инженерной геологии, гидрогеологии и геоэкологии урбанизированных территорий, важные как для сегодняшнего этапа развития экономики и научно-технического потенциала страны, так и на перспективу. Приведены результаты теоретических и прикладных исследований специалистов, направленных на развитие ресурсосберегающих, малоотходных и безотходных технологий, промышленное освоение новых территорий, модернизацию ЖКХ, обеспечение экологической безопасности урбанизированных территорий. Издание будет полезно для широкого круга специалистов: гидрогеологов, инженеров, геологов, геохимиков, специалистов в области механики грунтов, техносферной безопасности, информационно-компьютерных технологий, строителей в решении широкого спектра инженерно-геологических, гидрогеологических и геоэкологических проблем. Доп. точки доступа: Mellah, M. Абдушкуров, Ф. Б. Адам, А. М. Адильбаева, Т. Е. Алтарева, Л. М. Алферова, Л. И. Андрушко, С. В. Анисимов, Р. Н. Архипов, А. Л. Атаулов, Р. В. Ауелхан, Е. С. Ашихмин, А. П. Бабкин, А. С. Бадина, М. В. Баев, Ю. И. Байтасов, Т. М. Баркова, М. О. Быкова, В. В. Бычков, О. А. Вакс, И. В. Волженина, А. Ю. Вологдина, И. В. Ворожейкина, Е. А. Вотинов, А. В. Гасанова, Э. Р. Гашкова, Л. П. Герасимова, О. О. Горина, Н. В. Горленко, Н. П. Гридасов, А. Г. Данилкина, Ю. С. Деева, Ю. А. Дзюбо, В. В. Домрочева, Е. В. Дребот, В. В. Дружинин, А. В. Дутова, Е. М. Елугачёва, Н. С. Ерещенко, Э. Б. Ефанов, И. Н. Ефименко, В. Н. Ефименко, С. В. Заппаров, М. Р. Зиппа, Е. В. Зубкова, О. А. Иванова, Е. В. Иванова, Э. В. Казанцева, О. В. Карауш, С. А. Карманова, А. В. Касимова, Л. В. Катаев, С. Г. Кашибаева, А. Т. Кеслер, А. Г. Ковалёв, П. В. Кожназаров, А. Д. Кожухарь, Т. А. Королёв, В. А. Космачев, П. В. Краевский, А. А. Крамаренко, В. В. Кузеванов, К. И. Кузеванов, К. К. Кузнецов, А. В. Кузьмина, Н. А. Лазарев, В. М. Лапова, Т. В. Леонова, А. В. Лепокурова, О. Е. Литау, В. В. Литвинова, В. А Лукашевич, В. Н. Лукашевич, О. Д. Мазуров, А. К. Макаренко, В. А. Малолетко, А. А. Мананков, А. В. Махлаёв, В. К. Мезина, Н. С. Мележ, Т. А. Михайлова, К. Ю. Морозова, Л. А. Муравьева, Ю. В. Мухина, Е. М. Немова, Т. Н. Носков, М. Д. Олонова, М. В. Ольховатенко, В. Е. Опаренков, Ю. В. Орлянкин, В. Н. Осипова, Е. Ю. Осипова, Н. А. Павлова, А. Н. Парначёв, В. П. Парфенова, Г. К. Патрушева, Н. Е. Переверзев, А. И. Покровский, Д. С. Поликанова, С. А. Попов, В. К. Порубов, И. В. Посохова, Е. М. Рахманова, И. А. Рихванов, Л. П. Рутман, М. Г. Сабитов, Е. Е. Самохина, Н. П. Саркисов, Ю. С. Сафонова, Е. В. Семеновых, М. А. Семухин, Б. С. Сизиков, Д. А. Синюткина, А. А. Скопцова, О. А. Скрипникова, Н. К. Сохарева, С. Ю. Степанова, К. Д. Строкова, Л. А. Субботина, Н. В. Сухоруков, А. В. Таловская, А. В. Теровская, Т. С. Токаренко, О. Г. Филимоненко, Е. А. Харанжевская, Ю. А. Хафизова, К. И. Хохлова, Т. П. Чернышова, Н. А. Шварцев, С. Л. Шерстобитова, Л. В. Шестакова, А. И. Шумкина, Ю. А. Юрьев, И. Ю. Ющубе, С. В. Янкович, К. С.