Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Автор(ы) : Уткин, Дмитрий Михайлович Заглавие : Масс-спектрометрическое исследование плёнок аморфного кремния на монокремнии : автореферат выпускной квалификационной работы бакалавра Выходные данные : Саратов, 2017 Колич.характеристики :8 с Коллективы : Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского» Цена : Б.ц. Доп. точки доступа: Роках, А. Г. Михайлов, А. И.