Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 308007 Автор(ы) : Рощин, Владимир Михайлович, Силибин, Максим Викторович Заглавие : Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: [в 2 ч.]. Ч. 2 Выходные данные : Москва: БИНОМ. Лаб. знаний, 2010 Колич.характеристики :179, [5] с.: рис. Примечания : Библиогр.: с. 180 (80 назв.). - Рекомендовано Учеб.-метод. об-нием вузов РФ по образованию в обл. радиотехники, электроники, биомед. техники и автоматизации в качестве учеб. пособия для студентов вузов, обучающихся по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника" ISBN (в пер.), Цена 978-5-94774-910-6: 150.90 р. УДК : 621.38-022.532(075.8) + 620.22(075.8) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника техника-- материаловедение Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--оптоэлектроника--наноэлектроника--технологические процессы (тп)--материалы--металлы--диэлектрические материалы--углеродные материалы--металлоорганические соединения--некристаллические материалы Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского Доп. точки доступа: Силибин, Максим Викторович