Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 258062 Автор(ы) : Заглавие : Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учеб. пособие : в 2 т./ М. А. Королев [и др.] ; под общ. ред. Ю. А. Чаплыгина. - (Электроника). Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования Выходные данные : Москва: БИНОМ. Лаб. знаний, 2009 Колич.характеристики :422, [2] с.: рис., табл. Примечания : Библиогр.: с. 410-422. - На обл. и тит. л. авт.: Королев М. А. и др.Рекомендовано об-нием вузов РФ по образованию в обл. радиотехники, биомед. техники и автоматизации в качестве учеб. пособия для студентов вузов, обучающихся по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника" ISBN (в пер.), Цена 978-5-94774-585-6: 190.90 р. УДК : 621.382.049.77(075.8) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы--кремниевые интегральные микросхемы--микроэлектронные схемы интегральные--интегральные схемы--математическое моделирование--технологические процессы (тп)--сверхбольшие интегральные схемы (сбис)--плазменные технологии Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского Доп. точки доступа: Королев, М. А. Крупкина, Т. Ю. Путря, М. Г. Шевяков, В. И. Чаплыгин, Ю. А. \\ред.\\