Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 912358 621.382-181/Б 88 Автор(ы) : Броудай, Ивор, Мерей, Джоулис Заглавие : Физические основы микротехнологии : учеб. пособие Параллельн. заглавия :The Physics of Microfabrication Выходные данные : Москва: Мир, 1985 Колич.характеристики :494, [2] с.: ил. Примечания : Библиогр. ISBN (в пер.), Цена [Б. и.]: 35.00 р. УДК : 621.382.049.77.002 Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы--пучки частиц--тонкие пленки--микроэлектроника--субмикронная микроскопия--микрозонды Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского Доп. точки доступа: Мерей, Джоулис