Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382(075)/Х 79 Автор(ы) : Хорин И. А. Заглавие : Технологии электронной компонентной базы : учеб. пособие Выходные данные : Саратов: Ай Пи Эр Медиа, 2018 Колич.характеристики :280 с.: ил.; 22 см Серия: Университетский учебник Примечания : Библиогр.: с. 275-276 (27 назв.) ISBN, Цена 978-5-4486-0210-8: 50.00 р. ГРНТИ : 47.33.01.33 УДК : 621.382.049.77(075.8) ББК : 32.844 Предметные рубрики: Электроника-- Микроэлектроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые пластины--легирование--литография--травление--осаждение пленок--термические отжиги--микросхемы--наноструктуры--оптическая литография--кремний--микроэлектроника--монокристаллы--монокристаллические пленки--легирование--литографические процессы--толстопленочная технология Аннотация: В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги. сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии "Кремний на изоляторе" и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.