Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 539.2/Д 18 Автор(ы) : Данилин Б. С. Заглавие : Вакуумное нанесение тонких пленок : научное издание Выходные данные : М.: Энергия, 1967 Колич.характеристики :311 с.: граф., рис., табл.; 21 см Примечания : Библиогр.: с. 304-311 Цена : 1.10 р. ГРНТИ : 29.19 УДК : 539.2 Предметные рубрики: Физика-- Физика твердого тела Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкие пленки--вакуумное нанесение--термическое испарение--катодное распыление--тонкопленочные микросхемы--измерение вакуума--испарители--вакуумные установки Аннотация: Рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемая при получении тонких пленок. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Нилендер, Р. А.