Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.385/Ф 17 Автор(ы) : Файнштейн С. М. Заглавие : Роль состояния поверхности в производстве полупроводниковых приборов : научное издание Выходные данные : М.; Л.: Госэнергоиздат, 1961 Колич.характеристики :111 с.: ил., граф., табл.; 20 см Примечания : Библиогр.: с. 105-110 (185 назв.) Цена : 0.33 р. ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.385.002 Предметные рубрики: Электроника-- Полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): германий--кремний--рекомбинация--полупроводниковые материалы--полупроводниковые приборы--полупроводники--обработка поверхностей--поверхностная обработка Аннотация: В книге приведены физико-химические свойства поверхности полупроводников и методы их изучения, методы обработки поверхности и происходящие при этом процессы, влияние поверхностной обработки и газовой среды на свойства полупроводниковых приборов, что связано с созданием стабильных германиевых и кремниевых полупроводниковых приборов - одной из наиболее актуальных проблем современной полупроводниковой техники. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.