Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382(07)/М 61 Автор(ы) : Минаков В. И., Коган М. З. Заглавие : Производство тонкопленочных микросхем : учеб. пособие Выходные данные : Л.: Энергия. Ленингр. отд-ние, 1973 Колич.характеристики :175 с.: ил.; 20 см Примечания : Библиогр.: с. 174. - Гриф: одобрено Учен. Сов. Госкома Совмина СССР по проф.-техн. образованию в качестве учеб. пособия для подгот. рабочих на пр-ве Цена : 0.38 р. ГРНТИ : 47.33.01.33 УДК : 621.382(07) Предметные рубрики: Электроника-- Микроэлектроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленочная микроэлектроника--конструкции микросхем--технологии изготовления--тонкопленочные элементы--контроль производства--вакуумное оборудование--организация производства Аннотация: В книге в доступной форме изложены методы получения тонких пленок, даны основные понятия о конструкции и и технологии изготовления элементов тонкопленочных микросхем и сведения о материалах и оборудовании, применяющихся в пленочной микроэлектронике. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Коган, М. З.