Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/Г 52 Автор(ы) : Глазков И. М. Заглавие : Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии : брошюра Выходные данные : М.: Советское радио, 1975 Колич.характеристики :72 с.: ил., табл.; 20 см Серия: Массовая б-ка инженера "Электроника" Примечания : Библиогр.: с. 69-72 (83 назв.) Цена : 0.21 р. ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.382.047 Предметные рубрики: Электроника-- Электронные приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--микроэлектроника--фотоэлектрические датчики--генераторы изображения--фотоповторители Аннотация: Освещаются вопросы фотолитографии применительно к производству полупроводниковых приборов и ИС. Рассматриваются координатографы для изготовления оригиналов фотошаблонов, репродукционные фотокамеры, фотоповторители и микрофотонаборные установки совмещения и экспонирования. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.