Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 621.37/39/Э 45 Автор(ы) : Заглавие : Электроника: сб. науч. тр./ Всесоюз. ин-т науч. и техн. информ. (Москва); гл. ред. П. В. Нестеров. - (Итоги науки и техники). Т. 27: Интегральные микросхемы и функциональные устройства Выходные данные : М.: ВИНИТИ, 1990 Колич.характеристики :175 с.: ил.; 21 см Коллективы : Всесоюз. ин-т науч. и техн. информ., Акад. наук СССР Примечания : Библиогр. в конце ст. Цена : Б.ц. ГРНТИ : 47.05 УДК : 621.37/39 Предметные рубрики: Электроника-- Радиоэлектроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): молекулярно-лучевая эпитаксия--гибридные методы--плазменные устройства--геттерирование--эффект холла Аннотация: Рассмотрены интегральные микросхемы и функциональные устройства. Рассказано об приборах на основе структур с квантово-размерным эффектом, плазменных устройствах со скрещенными полями в технологии СБИС, внутренних и внешних геттерах в кремниевых пластинах, квантовом эффекте Холла. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Марасанов, В. А. Нестеров, П. В. \\гл. ред.\\