Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/С 40 Автор(ы) : Сироткин В. С., Пресс Ф. П. Заглавие : Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов : научное издание Выходные данные : М.: Энергия, 1979 Колич.характеристики :208 с.: ил.; 20 см Примечания : Библиогр.: с. 202-207 Цена : 0.60 р. ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.382.002 Предметные рубрики: Электроника-- Полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводники--управление технологическими процессами--процессы диффузии--фотолитография Аннотация: Излагаются принципы системного моделирования технологических процессов и полупроводниковых структур, создаваемых с помощью этих процессов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Пресс, Ф. П.