Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/К 67 Автор(ы) : Корнилов Р. В., Сандеров В. Л. Заглавие : Расчет комплексов оборудования микроэлектроники : научное издание Выходные данные : М.: Энергия, 1979 Колич.характеристики :104 с.: ил.; 21 см Цена : 0.30 р. ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.382.049 Предметные рубрики: Электроника-- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы--интегральные схемы--фотолитография--вакуумное оборудование Аннотация: Обосновывается целесообразность создания комплексов, приводятся технология и характеристики оборудования, дается классификация развития комплексов в автоматизированные поточные линии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Сандеров, В. Л.