Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/В 24 Автор(ы) : Боков Е. С., Корсаков В. С., Мишачев В. И., Лубашевская А. В. Заглавие : Введение в фотолитографию : научное издание Выходные данные : М.: Энергия, 1977 Колич.характеристики :400 с.: ил.; 21 см Примечания : Библиогр.: с. 379-397 Цена : 1.47 р. ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.382.049 Предметные рубрики: Электроника-- Фоторезисторы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотолитография--фотошаблоны--воспроизведение изображений--рентгеновские лучи--фоторезисторы Аннотация: Освещены основные проблемы фотолитографии и оценены перспективы ее развития. Рассмотрены свойства фоторезисторов, процессы образования фоторезисторных покрытий. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Боков, Е. С. Корсаков, В. С. Мишачев, В. И. Лубашевская, А. В. Лаврищев, В. П.