Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/И 88 Заглавие : Исследования новых микроэлектронных приборов и устройств : Вопросы электроники : межвуз. сборник Выходные данные : Кишинев: Штиинца, 1987 Колич.характеристики :126 с.: ил.; 21см Коллективы : Кишиневский политехн. ин-т Цена : 1.20 р. ГРНТИ : 47.33.37 УДК : 621.382.049.77(082)(06) Предметные рубрики: Электроника-- Микроэлектроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электроника--микроэлектроника--микроэлектронные приборы--микроэлектронные устройства--световые волны--низкочастотные шумы--свойства кристаллов--гетероструктуры--солнечные элементы--тонкие пленки--излучательная рекомбинация--объемные монокристаллы--двухфазные материалы--взаимная диффузия Аннотация: Представлены результаты исследований микроэлектронных устройств и приборов на основе фосфита индия.Исследованы вопросы оптимизации типовых технологических приемов и процессов,позволяющих получать полупроводниковые приборы и структуры с улучшенными показателями. Значительное внимание уделено вопросам создания автоматизированных систем контроля,ориентированных на входной контроль серийно выпускаемых микроэлектронных устройств. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Шишияну, Ф. С.