Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/Ч-68 Заглавие : Чистые помещения Выходные данные : М.: Мир, 1990 Колич.характеристики :456 с.: ил.; 21см ISBN, Цена 5030003630: 4.20 р. ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.382.002 ББК : 30.61 Предметные рубрики: Электроника-- Полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): изделия электронной техники--изделия микроэлектроники--квантовая электроника--волоконная оптика--фильтры для очистки воздуха--чистые помещения Аннотация: Посвящена вопросу создания особо чистых помещений для изготовления прецизионных электронных компонентов и высококачественных материалов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) Доп. точки доступа: Хаякава, И.