Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/М 78 Заглавие : МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов : научное издание Выходные данные : М.: Радио и связь, 1988 Колич.характеристики :496 с.: ил.; 21см ISBN, Цена 5-256-00130-2: 4.10 р. ГРНТИ : 47.14.07 УДК : 621.382.049.771 Предметные рубрики: Электроника-- Микроэлектроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): технология бис и сбис--диффузия в кремнии--ионная имплантация--оптическая литография--моделирование топографии Аннотация: Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем и электрических характеристик их основных элементов-МОП-транзисторов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Антонетти, П. Антониадис, Д. Даттон, Р. Оулдхем, У. Кустов, В. Л. Петров, В. М. Селляхова, О. В.