Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 347577 621.382-181(082)/В 94 Заглавие : Вычислительные системы: Сб. науч. тр. 143: Пленочная электромеханика Выходные данные : Новосибирск, 1991 Примечания : Библиогр. ISBN, Цена 5-7623-0100-1: 80.00 р. УДК : 621.382(082) Предметные рубрики: радиотехника.электроника-- полупроводниковая электроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--интегральная технология--пленочная электромеханика Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского