Вид документа : Продолжающееся издание Шифр издания : 539(083)/Т 38 Автор(ы) : Заглавие : Технология тонких пленок: справочник/ Л. Майссел [и др.]. Т. 1 Выходные данные : М.: Советское радио, 1977 Колич.характеристики :664 с.: ил.; 21см Цена : 4.02 р., 25.00 р. ГРНТИ : 29.19.01.33 УДК : 539.216(083) ББК : 6Ф0.3 Предметные рубрики: Физика-- Физика твердого тела Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкие пленки--изготовление тонких плёнок--вакуумное испарение--техника высокого вакуума--ионная бомбардировка--распыление--распыление материалов--ионное распыление Аннотация: Справочник по технологии тонких плёнок - наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким плёнкам твёрдых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издаётся в двух томах. В т.1 включены гл.1-7, в т.2-гл.8-21. В т.1 справочника читатель найдёт исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких плёнок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения плёнок путём ионного распыления); технологические разъёмы, а также параметры необходимой аппаратуры. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких плёнок. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Майссел, Л. Глэнг, Р. Елинсон, М. И. Смолко, Г. Г.