Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382(083)/Г 74 Автор(ы) : Готра З. Ю. Заглавие : Технология микроэлектронных устройств : справочник Выходные данные : М.: Радио и связь, 1991 Колич.характеристики :528 с.: ил.; 23см Цена : 4.00,60.00 р. ГРНТИ : 47.03.05 УДК : 621.382.049.77.002(083) ББК : 32.844 Предметные рубрики: Электроника-- Микроэлектронная аппаратура Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): монокристаллические материалы--полупроводниковые материалы--диффузия--ионная имплантация--тонкие пленки--фотошаблоны--микроэлектронные устройства Аннотация: Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких плёнок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надёжности при изготовлении микроэлектронных устройств. Для инженерно-технических работников, мастеров и квалифицированных рабочих, занимающихся производством МЭУ. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.