Вид документа : Продолжающееся издание Шифр издания : 621.382(075)/Б 95 Автор(ы) : Быкадорова Г. В. Заглавие : Математическое моделирование технологических процессов в микроэлектронике: учеб. пособие для студ. вузов/ Г. В. Быкадорова [и др.] ; Воронежский гос. ун-т. Ч. 1: Диффузия Выходные данные : Воронеж: ВГУ, 1997 Колич.характеристики :116 с.: ил.; 29см Коллективы : Воронежский гос. ун-т Примечания : Библиогр.:с.110(14 назв.). ISBN, Цена 5858130976: 9р. р. ГРНТИ : 27.47.19.01.33 + 47.33.01.33 УДК : 621.382.049.77:519.8(075.8) Предметные рубрики: Электроника-- Микроэлектроника-- Моделирование в микроэлектронике Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диффузия в твердых телах--микроэлектроника--технологические процессы--диффузия--полупроводниковые материалы--интегральные микросхемы--асу Аннотация: Рассматриваются вопросы математического моделирования коэффициента диффузии и распределения примеси при различных условиях проведения диффузии. Содержатся основные расчетные формулы и соотношения, используемые при решении задач и упражнений. Приведены справочные данные, необходимые для выполнения предлагаемых задач. Пособие ориентировано на использование вычислительных средств различного уровня. Пособие предназначено для семинарских занятий. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Битюцкая, Л. А. Гольдфарб, В. А. Суровцев, И. С.