Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382(075)/Б 83 Автор(ы) : Боровцов П. В. Заглавие : Литографические процессы в микроэлектронике : учеб. пособие Выходные данные : Пермь: ПГТУ, 1995 Колич.характеристики :59 с.: ил.11; 20см Коллективы : Пермский гос. техн. ун-т Примечания : Библиогр.: с. (20 назв.) ISBN, Цена 5881510437: 2500р. р. ГРНТИ : 47.33.31.01.33 УДК : 621.382.049.77(075.8) Предметные рубрики: Электроника-- Микроэлектроника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросхемы--микропроцессоры--литографические процессы Аннотация: Рассмотрены литографические процессы, являющиеся наиболее ответственными операциями при изготовлении интегральных микросхем и микропроцессоров. Для студентов специальности "Измерительно-вычислительные комплексы", а также для студентов и инженеров, занимающихся технологией микроэлектроники. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.