Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 620.3(075.8) Автор(ы) : Биленко, Давид Исаакович, Белобровая, Ольга Яковлевна, Вениг, Сергей Борисович, Галушка В. В. Заглавие : Методы и средства контроля процессов и структур in situ: учебное пособие для студентов, магистрантов и аспирантов направлений "Электроника и наноэлектроника", "Материаловедение и технологии материалов", "Биотехнические системы и технологии" : в 2 ч./ Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского. - (Материаловедение и технология новых материалов). Ч. 1 Выходные данные : Саратов: Издательство Саратовского университета, 2014 Колич.характеристики :199, [1] с.: ил., табл. Коллективы : Сарат. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского Примечания : Библиогр.: с. 187 (5 назв.) ISBN, Цена 978-5-292-04289-1: 404.03 р. УДК : 620.3(075.8) Предметные рубрики: техника-- материаловедение Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): технологические процессы (тп)--сканирующая туннельная технология--in situ--методология технологии--температура объектов--газовые потоки--наноструктуры--пленки--сверхрешетки--прогнозирование--микротехнология--нанотехнологии--материаловедение Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского Доп. точки доступа: Биленко, Давид Исаакович Белобровая, Ольга Яковлевна Вениг, Сергей Борисович Галушка, В. В. Биленко, Давид Исаакович Вениг, Сергей Борисович