Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.7/К 63 Автор(ы) : Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Буренков А. Ф. Заглавие : Ионная имплантация : научное издание Выходные данные : Минск: Унiверсiтэцкае, 1994 Колич.характеристики :303 с. ; 20см ISBN, Цена 985-09-0036-9: 3000.00 р. ГРНТИ : 55.22.19 УДК : 621.793.18 Предметные рубрики: Обработка материалов-- Нанесение покрытий Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): легирование--инплантация--ионная имплантация--ионно-лучевое легирование--инплантация атомов--ионное перемешивание--кинетические уравнения Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Новиков, А. П. Буренков, А. Ф. Комаров, Ф. Ф.