Новые поступления (книга в стадии обработки) Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : в 2 т. / под общ. ред. Ю. Н. Коркишко. - Москва : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0. - ISBN 978-5-9963-0341-0(ошибочный ). Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - Москва : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010. - 392 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 386-389 (80 назв.). - ISBN 978-5-9963-0335-9 (Т. 1) (в пер.) : 226.30 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- интегральные схемы -- технологические процессы (ТП) -- физико-химические процессы -- межфазные явления Аннотация: Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физикохимических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем действие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Райнова, Юлия Петровна Коркишко, Ю. Н. \\ред.\\ |