Новые поступления (книга в стадии обработки) Астахова, Нелли Андреевна. Ионно-плазменные процессы в технологии интегральных микросхем [Текст] : лаб. практикум по курсу "Технология интегральных полупроводниковых схем" / Н. А. Астахова ; под ред. М. Г. Путри ; М-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Москва : МИЭТ [изд.], 2002. - 47, [1] с. - Библиогр. в конце разд. - ISBN [Б. и.] : 25.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): интегральные микросхемы -- травление ионно-плазменное -- плазмохимическое травление -- реактивное ионное травление Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского Доп. точки доступа: Путри, М. Г. |