Новые поступления (книга в стадии обработки) Практикум по волновой электронике и микроэлектронике [Текст] : практикум. - Саратов : Издательство Саратовского университета. Ч. 3 : Технология микроэлектроники. - 2000. - 59, [5] с. - ISBN 5-292-02569-0 : 15.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- технология -- травление вакуумно-плазменное -- пленки -- интегральные схемы -- катодного распыления методы Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского |